無塵干凈室的氣流速率/換氣次數(shù)，一直是干凈室計劃中遭到存眷的成績，跟著干凈室凈化源的節(jié)制后果增長及末級過濾器效力的提高級，對無關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、導(dǎo)則等提出的保舉或參考值能否偏于守舊，已有很多評論辯論;FFU在利用中人們擔(dān)憂的樂音、毀壞培修等成績已在實踐中獲得辦理，跟著FFU的賡續(xù)改良，對能否采納FFU回風(fēng)體系也是個熱門：懸浮份子凈化(AMC)的節(jié)制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日趨提到日程下去，遭到存眷。
無塵干凈室內(nèi)必定干凈度下氣流速率的肯定，隨干凈室用處等詳細(xì)環(huán)境而異，它不只受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效力還受其余身分影響，就產(chǎn)業(yè)干凈室而言，影響干凈度及抉擇氣流速率的身分主如果：
(1)室內(nèi)凈化源：建筑物組件、職員數(shù)目及操縱運動、工藝裝備、工藝材料及工藝加工自己等都是塵粒開釋源，根據(jù)詳細(xì)環(huán)境而異，變更很大。
(2)室內(nèi)氣流流型及散布：單向流請求平均、對等的流線，但會遭到工藝裝備安排和地位更改及職員運動環(huán)境等的滋擾構(gòu)成部分渦流;而非單向流請求充混雜，防止死角及溫度分層。
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